国产精品99精品一区二区三区,国产猛男GAY1069视频,精品亚洲AV乱码一区二区三区,一尘网中国投资资讯网

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  EVG納米壓印機(jī)  >  UV-NIL/SmartNIL紫外壓印  >  EVG610納米壓印光刻系統(tǒng)

納米壓印光刻系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:納米壓印支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并可選擇背面對(duì)準(zhǔn)。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對(duì)準(zhǔn)和納米壓印光刻(NIL)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):EVG610
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-11-26
  • 訪  問  量: 8228

詳細(xì)介紹

該設(shè)備支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并可選擇背面對(duì)準(zhǔn)。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對(duì)準(zhǔn)和納米壓印光刻(NIL)。

EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,以改變用戶需求,光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時(shí)間僅為幾分鐘。其先進(jìn)的多用戶概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到專家級(jí)別的所有需求,因此使其成為大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇。

對(duì)于壓印工藝,EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到直徑150毫米不等。納米技術(shù)應(yīng)用的配置除了可編程的高和低接觸力外,還可以包括印章的釋放機(jī)制。EV Group專有的卡盤設(shè)計(jì)可提供均勻的接觸力,以實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量的壓印,該卡盤設(shè)計(jì)既支持軟印章也支持硬印章。

納米壓印機(jī)技術(shù)數(shù)據(jù):
晶圓直徑 (基板尺寸)
標(biāo)準(zhǔn)光刻 碎片蕞大150毫米
柔軟的UV-NIL 蕞大150毫米的碎片
解析度 ≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)
支持流程 柔軟的UV-NIL
曝光源 汞光源或紫外線LED光源
自動(dòng)分離功能 不支持
工作印章制作 外部
 
納米壓印機(jī)特征:
1) 頂部和底部對(duì)準(zhǔn)能力
2) 高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái)
3) 自動(dòng)楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制
4) 電動(dòng)和配方控制的曝光間隙
5) 支持新的UV-LED技術(shù)
6) 蕞小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求
7) 分步流程指導(dǎo)
8) 遠(yuǎn)程技術(shù)支持
9) 多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和配方,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語(yǔ)言)
10) 敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換
11) 臺(tái)式或帶防震花崗巖臺(tái)的單機(jī)版

納米壓印機(jī)主要應(yīng)用:
具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),支持尺寸從碎片到蕞大150毫米。
附加功能:
1) 鍵對(duì)準(zhǔn)
2) 紅外對(duì)中
3) 納米壓印光刻
4) 微接觸印刷
納米壓印工藝結(jié)果:

圖1  微鏡頭

圖2  納米壓印結(jié)果(100納米分辨率)


 

 

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
6080YYY午夜理论AA片| 未满十八18禁止免费无码网站| 精品人妻无码一区二区三区换脸 | 成人国产片女人爽到高潮网站 | 欧美激情一区二区三区| 99久久国产精品免费热7788| 日本乱偷中文字幕| 丰满浓毛的大隂户视频| 久久一区二区三区精华液| 神马影院手机在线观看| 日日摸天天爽天天爽视频| 最近免费中文字幕mv免费高清版| 国产又黄又爽又湿的免费网站 | 野花日本大全免费视频720| 国产麻豆精东果冻乌鸦传媒| 男男暴菊gay无套网站| 一本大道无码人妻精品专区| 欧美一区二区三区| 久久久久亚洲av无码专区桃色| 免费视频在线观看| 调教室捆绑白丝jk震动捧娇喘| 性一交一乱一乱一视一频| 国产sm主人调教女m视频| 中国老太婆多毛bbhd| 小雪被老外黑人撑破了视频| 国模无码大尺度一区二区三区| 猛男GΑY小鲜肉VⅠDE0S| 久久精品国产亚洲av高清热| 好深好湿好硬顶到了好爽| 精品国内自产拍在线观看视频 | 公的粗大挺进了我的密道| 日韩无码电影| 舌头伸进去添的我爽高潮| h高潮嗯啊娇喘抽搐视频a片小说| 亚洲精品一区二区| 古代翁妇乱高h辣文| 粉嫩虎白扒开小泬| 正常男人一般能做多久| 无遮真人祼交视频| 中文无码熟妇人妻AV在线| 国产a级特黄的片子|